การพ่นด้วยแสงอัลตราโซนิกคืออะไร?

อุปกรณ์เคลือบด้วยแสงอัลตราโซนิกเป็นอุปกรณ์เฉพาะสำหรับการเคลือบด้วยแสงโดยอาศัยเทคโนโลยีการทำให้เป็นละอองด้วยอัลตราโซนิก โดยส่วนใหญ่จะใช้ในด้านการผลิตที่มีความแม่นยำ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ แผง เวเฟอร์ MEMS และเซลล์แสงอาทิตย์ โดยจะทำให้เกิดละอองแสงเป็นหยดละอองขนาดเล็กพิเศษ-ขนาดนาโน/ไมครอน โดยฉีดพ่นลงบนพื้นผิวของซับสเตรต เช่น เวเฟอร์และซับสเตรตที่เป็นแก้วอย่างสม่ำเสมอ แทนที่กระบวนการเคลือบ-แบบหมุนและการจุ่ม-แบบเดิมๆ

 

พูดง่ายๆ ก็คือ อุปกรณ์นี้เป็นอุปกรณ์หลักใน "ขั้นตอนการเคลือบต้านทาน" ของกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี ซึ่งมีข้อได้เปรียบ เช่น ความแม่นยำสูง ความสม่ำเสมอสูง การใช้ความต้านทานต่ำ และไม่มีข้อบกพร่องที่ขอบหมุนวน/หนา ทำให้เหมาะสำหรับข้อกำหนดการเคลือบโฟโตรีซิสต์ของกระบวนการขั้นสูง

 

ข้อได้เปรียบทางเทคโนโลยีหลัก(เมื่อเทียบกับการเคลือบแบบหมุน/การเคลือบแบบจุ่ม)

การเคลือบด้วยแสงเป็นขั้นตอนก่อน-กระบวนการที่สำคัญในการพิมพ์หินด้วยแสง และความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มส่งผลโดยตรงต่อความแม่นยำของการพิมพ์หินด้วยแสง ข้อได้เปรียบหลักของอุปกรณ์พ่นอัลตราโซนิกมีมากกว่ากระบวนการแบบดั้งเดิม ซึ่งเป็นเหตุผลหลักที่ทำให้มีการใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตขั้นสูง

 

1. ความสม่ำเสมอของการเคลือบสูงเป็นพิเศษ-:ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มน้อยกว่าหรือเท่ากับ ± 1% ขจัด "ขอบหนาและศูนย์กลางเว้า" ของการเคลือบแบบหมุน เหมาะสำหรับความต้องการการพิมพ์หินด้วยแสงของกระบวนการขั้นสูง เช่น 7 นาโนเมตร/5 นาโนเมตร

 

2. ปริมาณการใช้แสงที่ต่ำมาก:การเคลือบแบบหมุนมีอัตราการใช้สารต้านทานแสงเพียง 10~20% ในขณะที่การพ่นด้วยอัลตราโซนิกสามารถเข้าถึงได้ถึง 80~95% ซึ่งช่วยลดต้นทุนของสารต้านทานแสงได้อย่างมาก (วัสดุสิ้นเปลืองที่มีต้นทุนสูง-)

 

3. ช่วงความหนาของฟิล์มที่ควบคุมได้กว้าง:สามารถเคลือบฟิล์มบางตั้งแต่ 10 นาโนเมตรถึง 100μm เหมาะสำหรับชั้นโฟโตรีซิสต์ทั้งแบบบางพิเศษ-และหนา (เช่น การพิมพ์หินด้วยแสงบรรจุภัณฑ์ การพิมพ์หินหลุมลึก MEMS)

 

4. ไม่มีความเสียหายจากความเครียดทางกล:ไม่มีแรงเหวี่ยงหรือการหมุนของวัสดุพิมพ์-ด้วยความเร็วสูง หลีกเลี่ยงการบิดเบี้ยวและการแตกร้าวของแผ่นเวเฟอร์/วัสดุพิมพ์ เหมาะสำหรับวัสดุพิมพ์ที่เปราะบาง (เช่น แผ่นเวเฟอร์บางพิเศษ- วัสดุพิมพ์ที่ยืดหยุ่น)

 

ปรับให้เข้ากับพื้นผิวที่ซับซ้อนได้:ปรับให้เข้ากับพื้นผิวที่ซับซ้อน: สามารถเคลือบพื้นผิวที่ไม่ใช่ระนาบ- หลุมลึก/พื้นผิวที่มีร่อง พื้นผิวที่มีพื้นที่ขนาดใหญ่- และรูปร่างที่ผิดปกติซึ่งไม่สามารถประมวลผลด้วยการเคลือบแบบหมุนได้

 

เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมและปราศจากมลภาวะ-:การใช้กาวต่ำ ปริมาณของเหลวของเสียจากไอเสียต่ำมาก ไม่มีละอองกาวกระเด็นเหมือนในการเคลือบแบบหมุน ตรงตามข้อกำหนดการผลิตที่สะอาด