RPS-SONIC: เกณฑ์มาตรฐานสำหรับอุตสาหกรรมการพ่นละอองด้วยอัลตราโซนิกของฟิล์มบาง TCO

ในกระแสอุตสาหกรรมของเทคโนโลยีการเตรียมฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใส TCO RPS-SONIC ซึ่งมีการวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีแบบกำหนดเป้าหมายและการออกแบบตามสถานการณ์- ได้ทำให้อุปกรณ์พ่นละอองด้วยอัลตราโซนิกเป็นทางเลือกอุปกรณ์หลักในด้านไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ จอแสดงผล และการก่อสร้าง ไม่เพียงแต่เป็นไปตามข้อกำหนดหลักของอุตสาหกรรมในด้าน "การส่งผ่านแสงสูง ความต้านทานแผ่นต่ำ และประสิทธิภาพที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม" เท่านั้น แต่ยังส่งเสริมการเปลี่ยนการเตรียมฟิล์มบาง TCO จากห้องปฏิบัติการไปสู่การผลิตขนาดใหญ่-ผ่านการควบคุมพารามิเตอร์ที่แม่นยำและการทำงานที่เสถียร

อุปกรณ์พ่นละอองด้วยคลื่นอัลตราโซนิก RPS-SONIC ซึ่งใช้เทคโนโลยีการทำให้เป็นละอองด้วยการสั่นสะเทือนความถี่สูง- ได้สร้างเมทริกซ์ผลิตภัณฑ์ที่แตกต่างสำหรับความต้องการในการเตรียมฟิล์มบาง TCO โดยมีลักษณะทางเทคโนโลยีหลักที่แสดงให้เห็นถึงความสามารถในการปรับตัวที่โดดเด่นเป็นพิเศษกับการเตรียม TCO อุปกรณ์ส่วนใหญ่ใช้รูปแบบการสั่นสะเทือนความถี่สูง-สองรูปแบบ: 40kHz และ 60kHz ในบรรดาหัวฉีดเหล่านั้น หัวฉีดอะตอมไมซ์แบบอัลตราโซนิกแบบโฟกัส 40kHz สามารถทำให้ก๊าซตัวพารวมตัวกันและทำให้สารละลายสารตั้งต้นของ TCO (เช่น ITO, AZO, FTO โซล) กลายเป็นหยดที่มีขนาดสม่ำเสมอขนาด 15-40μm ด้วยการออกแบบช่องการไหลแบบจำกัดพิเศษ ข้อผิดพลาดความสม่ำเสมอในการกระจายหยดจะถูกควบคุมภายใน ±3% ซึ่งตรงกับข้อกำหนดความหนาที่แม่นยำของฟิล์ม TCO ที่ 10 นาโนเมตร-500 นาโนเมตร สำหรับสารละลายสารตั้งต้น TCO ที่มีความหนืดต่ำ- (0 cps) อุปกรณ์จะมีการควบคุมการไหลที่แม่นยำที่ 0.5-20 มิลลิลิตร/นาที เมื่อใช้ร่วมกับความสูงของสเปรย์ที่ปรับได้ 30-80 มม. และการออกแบบตัวนำการไหลแรงดันต่ำ 0.5 MPa จะช่วยหลีกเลี่ยงปัญหาการกระเด็นของหยดของการพ่นด้วยแรงดันแบบดั้งเดิม ในขณะเดียวกันก็รับประกันการสะสมตัวของหยดที่หนาแน่นบนพื้นผิวของสารตั้งต้น ส่งผลให้ความต้านทานของแผ่นฟิล์ม TCO ผันผวนซึ่งควบคุมได้ภายใน ±5% และการส่งผ่านแสงที่มองเห็นมีความเสถียรที่ 85%-95% ตอบสนองความต้องการด้านประสิทธิภาพการใช้งานระดับไฮเอนด์ เช่น เซลล์แสงอาทิตย์และจอแสดงผลแบบยืดหยุ่นได้อย่างสมบูรณ์

จากข้อได้เปรียบหลักของการเตรียมฟิล์ม TCO ทำให้ RPS{0}}SONIC ขยายมูลค่าทางอุตสาหกรรมของเทคโนโลยีการทำให้เป็นอะตอมด้วยอัลตราโซนิกเพิ่มเติม ประการแรก อุปกรณ์นี้มีข้อได้เปรียบที่สำคัญในการใช้วัสดุและการควบคุมต้นทุน ด้วย "การทำให้เป็นละอองแบบไร้แรงดัน" และการออกแบบการพ่นแบบเน้น อัตราการใช้โซลูชันสารตั้งต้น TCO สูงถึง 90% ประหยัดการใช้วัสดุมากกว่า 80% เมื่อเทียบกับกระบวนการสปัตเตอร์แมกนีตรอนแบบดั้งเดิม สิ่งนี้มีประโยชน์อย่างยิ่งในการเตรียมฟิล์มบางของ ITO ซึ่งทรัพยากรอินเดียมมีจำกัด เนื่องจากช่วยลดการสูญเสียโลหะอันมีค่าได้อย่างมาก จึงช่วยลดต้นทุนการผลิตสำหรับองค์กรต่างๆ ประการที่สอง มันแสดงความเข้ากันได้ของพื้นผิวที่แข็งแกร่งมาก อุปกรณ์ใช้พลังงานจลน์ของหยดที่ต่ำมากในระหว่างการทำให้เป็นอะตอม ซึ่งแสดงถึงกระบวนการเตรียมอุณหภูมิต่ำ-โดยทั่วไป ทำให้ไม่เพียงแต่เหมาะสำหรับพื้นผิวที่แข็ง เช่น แก้วและเวเฟอร์ซิลิคอน แต่ยังเหมาะสำหรับพื้นผิวที่มีความยืดหยุ่น เช่น PET และ PI อีกด้วย วิธีนี้จะแก้ไขจุดยุ่งยากของกระบวนการแบบดั้งเดิมในการเตรียมฟิล์มบาง TCO ที่ยืดหยุ่น ซึ่งนำไปสู่การเสียรูปของพื้นผิวและการเสื่อมสภาพของประสิทธิภาพได้อย่างง่ายดาย มอบโซลูชันที่เชื่อถือได้สำหรับการผลิตฟิล์มบาง TCO ในด้านต่างๆ เช่น จอแสดงผล OLED ที่ยืดหยุ่นและอุปกรณ์สวมใส่ได้ ประการที่สาม เป็นการรวมความสามารถในการปรับขนาดและความเสถียรเข้าด้วยกัน อุปกรณ์นี้รองรับอาร์เรย์หัวฉีดหลาย- โดยมีความกว้างของสเปรย์ครั้งเดียว 1-3 เมตร เมื่อใช้ร่วมกับการออกแบบกำลังไฟที่ปรับได้ 10-100W สามารถตอบสนองความต้องการของการวิจัยและพัฒนาแบบกลุ่มขนาดเล็ก-ในห้องปฏิบัติการได้ รวมถึงการผลิตอุปกรณ์ขนาดใหญ่ในสเกลใหญ่ เช่น โมดูลเซลล์แสงอาทิตย์และกระจกสถาปัตยกรรม นอกจากนี้ อุปกรณ์ไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวซึ่งเกิดการสึกหรอ และหัวฉีดมีโอกาสเกิดการอุดตันน้อยลง ลดการหยุดทำงานของการผลิต และรับประกันความเสถียรของการผลิตต่อเนื่อง

ในแง่ของการใช้งานในอุตสาหกรรม อุปกรณ์พ่นละอองด้วยอัลตราโซนิก RPS-SONIC ได้สร้างกรณีการวัดประสิทธิภาพหลายกรณีในด้านการเตรียมฟิล์มบาง TCO ในอุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์ อุปกรณ์ของบริษัทใช้ในการฉีดพ่นชั้นนำไฟฟ้าโปร่งใส AZO/TCO ของเซลล์แสงอาทิตย์เพอร์รอฟสไกต์ ด้วยการควบคุมขนาดหยดและอัตราการสะสมอย่างแม่นยำ ประสิทธิภาพการแปลงโฟโตอิเล็กทริกของเซลล์จึงได้รับการปรับปรุงขึ้น 2-3 เปอร์เซ็นต์ ปัจจุบัน บริษัทได้เข้าสู่สายการผลิตนำร่องเซลล์แยกคู่แบบซิลิคอนระดับ 1GW-perovskite- ของบริษัทเซลล์แสงอาทิตย์ชั้นนำในประเทศ ซึ่งช่วยให้สามารถผลิตจำนวนมากได้ ในช่องแสดงผล สำหรับการเตรียมฟิล์มคอมโพสิต ITO/PET สำหรับหน้าจอ OLED ที่ยืดหยุ่น อุปกรณ์ยังคงมั่นใจได้ว่าอัตราการเปลี่ยนแปลงความต้านทานแผ่นของฟิล์ม TCO น้อยกว่า 10% และการส่งผ่านแสงยังคงสูงกว่า 92% บนพื้นผิวที่ยืดหยุ่นซึ่งมีรัศมีการโค้งงอ 5 มม.

สิ่งนี้ช่วยให้ผู้ผลิตขั้นปลายสามารถปรับปรุงผลผลิตของหน้าจอที่ยืดหยุ่นจาก 75% ด้วยกระบวนการแบบเดิมเป็น 88% กลายเป็นอุปกรณ์หลักที่สนับสนุนสำหรับห่วงโซ่อุตสาหกรรมการแสดงผลที่ยืดหยุ่น ในด้านสถาปัตยกรรมกระจกอัจฉริยะ อุปกรณ์นี้ใช้สำหรับการพ่นฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใส AZO สำหรับกระจกอิเล็กโทรโครมิก ซึ่งบรรลุการควบคุมข้อผิดพลาดของความหนาที่ ±2 นาโนเมตร ซึ่งส่งผลให้ความเร็วตอบสนองทางอิเล็กโทรโครมิกน้อยกว่าหรือเท่ากับ 10 วินาที และอายุการใช้งานมากกว่า 100,000 รอบ ในเวลาเดียวกัน ค่าการส่งผ่านแสงที่สูงและความต้านทานการกัดกร่อนของฟิล์มทำให้แน่ใจได้ว่ากระจกอัจฉริยะจะทำงานได้อย่างมีเสถียรภาพในระยะยาว- และได้นำไปใช้กับการผลิตหน้าต่างอัจฉริยะในโครงการ{10}}อาคารระดับไฮเอนด์หลายโครงการทั้งในและต่างประเทศ นอกจากนี้ อุปกรณ์ของ Hangzhou Gonglu ยังมีความสามารถรอบด้านเป็นพิเศษ ซึ่งไม่เพียงแต่ช่วยให้การเตรียมฟิล์มบาง TCO ทั่วไปเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการพ่นฟิล์มเชิงฟังก์ชันแบบคอมโพสิต เช่น สารเคลือบ-หมอกและ-การกัดกร่อนด้วยชั้น TCO ตัวอย่างเช่น สามารถพ่นชั้นสื่อกระแสไฟฟ้าโปร่งใส FTO และสารเคลือบป้องกัน-การเปรอะเปื้อนบนพื้นผิวกระจกไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ไปพร้อมๆ กัน ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพโดยรวมของอุปกรณ์ให้ดียิ่งขึ้น ในอนาคต ด้วยการส่งเสริมวัสดุ TCO อิสระ-อินเดียม (เช่น AZO และ GZO) และการบูรณาการเทคโนโลยีการตรวจสอบด้วยภาพ AI อุปกรณ์ของหางโจว Gonglu คาดว่าจะบรรลุเป้าหมายด้านประสิทธิภาพที่สูงขึ้นไปอีก รวมถึงการส่องผ่านแสงที่เกิน 98% และความต้านทานของแผ่นต่ำกว่า 5Ω/□ ซึ่งผลักดันให้เกิดสีเขียวและการปรับแต่งเทคโนโลยีการเตรียมฟิล์มบาง TCO อย่างต่อเนื่อง

ในฐานะมาตรฐานอุตสาหกรรมในด้านการพ่นละอองด้วยอัลตราโซนิก อุปกรณ์ RPS-SONIC ที่มีการควบคุมพารามิเตอร์ที่แม่นยำ การทำงานที่เสถียร และความสามารถในการปรับเปลี่ยนการใช้งานในวงกว้าง ให้การสนับสนุนหลักสำหรับการผลิตฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใส TCO ขนาดใหญ่-คุณภาพสูง- โซลูชันด้านเทคนิคของบริษัทไม่เพียงตอบสนองความต้องการการพัฒนาในปัจจุบันของอุตสาหกรรมออปโตอิเล็กทรอนิกส์เท่านั้น แต่ยังมีบทบาทสำคัญในนวัตกรรมทางเทคโนโลยีในสาขาเกิดใหม่ เช่น อิเล็กทรอนิกส์ที่ยืดหยุ่นและพลังงานใหม่ในอนาคต